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2657A高功率数字源表
2657A是一种高电压、高功率、低电流源测量单元（SMU），具有迄今为止最高的功率、 精度、速度、灵活性和易用性，能够大大提高研发、生产测试和可靠性环境的测试效 率。2657A是专门针对高压电子和功率半导体器件的特征分析与测试而设计的，例如 二极管、FET和IGBT，以及其它一些需要高电压、快速响应和精确测量电压和电流的元 件和材料。2657A是吉时利功率半导体特征分析和测试解决方案的2600A系列产品，具 有业界最高的功率和最佳的低电流性能。这些用户可配置的解决方案采用了业界最 强大的参数式特征分析软件平台，能够随着用户应用的发展进行升级。
2657A与其它2600A系列数字源表一样，具有高度灵活的四象限电压和电流源/负载， 并配置了精密电压和电流计。它可以用作：
• 半导体特征分析仪
• 电压或电流波形发生器
• 电压或电流脉冲发生器
• 支持电压和电流读回的精密电源
• 真电流源
• 数字万用表（DCV、DCI、欧姆 和六位半分辨率电源）
• 精密电子负载
2657A主要技术指标1
| 源 | 测量 | ||||
| 量程 |
编程分辨率 |
精度 |
显示分辨率 | 积分ADC精度2 ±(% rdg + V) |
高速ADC精度3 ±(% rdg + V) |
| 200 V | 5 mV | 0.03% + 50 mV | 100 μV | 0.025% + 50 mV |
0.05% + 100 mV |
| 500 V | 10 mV | 0.03% + 125 mV | 100 μV | 0.025% + 100 mV |
0.05% + 200 mV |
| 1500 V | 40 mV | 0.03% + 375 mV | 1 mV | 0.025% + 300 mV |
0.05% + 600 mV |
| 3000 V | 80 mV | 0.03% + 750 mV | 1 mV | 0.025% + 600 mV |
0.05% + 1.2 V |
电流精度指标4
| 源 | 测量 | ||||
|
量程 |
编程分辨率 |
精度 |
显示分辨率 | 积分ADC精度2 ±(% rdg + A) |
高速ADC精度 3 ±(% rdg + A) |
| 1 nA | 30 fA | 0.1% + 2E–12 + VoE–15 | 1 fA | 0.1% + 6E–13 + VoE–15 |
0.2% + 6E–13 + VoE–15 |
| 10 nA | 300 fA | 0.1% + 5E–12 + VoE–15 | 10 fA | 0.1% + 5E–12 + VoE–15 |
0.2% + 5E–12 + VoE–15 |
| 100 nA | 3 pA | 0.1% + 6E–11 + VoE–13 | 100 fA | 0.1% + 6E–11 + VoE–13 |
0.2%+ 6E–11 + VoE–13 |
|
1 μA |
30 pA | 0.03% + 700 pA | 1 pA | 0.025% + 400 pA |
0.08% + 800 nA |
| 10 μA | 300 pA | 0.03% + 5 nA | 10 pA | 0.025% + 1.5 nA |
0.08% + 3 nA |
|
100 μA |
3 nA | 0.03% + 60 nA | 100 pA | 0.02 % + 25 nA |
0.05% + 50 nA |
| 1 mA | 30 nA | 0.03% + 300 nA | 1 nA | 0.02 % + 200 nA |
0.05%+ 400 nA |
| 2 mA | 60 nA | 0.03% + 1.2 μA | 1 nA | 0.02 % + 500 nA |
0.05% + 1 μA |
| 20 mA |
600 nA |
0.03% + 12 μA | 10 nA | 0.02 % + 5 μA |
0.05%+ 10 μA |
| 120 mA | 3 μA | 0.03% + 36 μA | 100 nA | 0.02 % + 24 μA |
0.05%+ 50 μA |
1.对于0°到18°C以及28°到50°C的温度，精度下降 ±(0.15 × 精度指标) °C。
2. 对于NPLC设置<1因增加了误差项而降低了精度指标。对于阻性负载使用下表适当增加量程项的百分比。
| NPLC 设置 |
200V和500V |
1500V和3000V |
100nA |
1μA到120mA |
| 0.1 | 0.01% | 0.01% |
0.01% |
0.01% |
| 0.01 | 0.08% | 0.07% | 0.1 % |
0.05% |
| 0.001 | 0.8 % | 0.6 % |
1 % |
0.5 % |
3.18位ADC。间隔1μs的1000个样本均值。
4.对于0°到18°C以及28°到50°C的温度，精度下降 ±(0.35 × 精度指标) °C
其它特性
典型电压源噪声：量程的0.005%。
典型电流源噪声：量程的0.08%。
典型电压源设置：<1ms到200V，<7ms到3000V。
典型电流源设置：<5ms到120MA，<200ms到1µA。
相关指标如有改变恕不另行通知。
触发与同步指标
触发：TRIGGER IN到TRIGGER OUT：0.5µs，典型值。
同步：单节点或多节点同步源变化：<0.5μs，典型值。
编程
TEST SCRIPT BUILDER: 用于编辑、运行和管理TSP脚本的集成式开发环境。
TSP EXPRESS （内嵌的）：无需编程或安装其它软件即可使用户快速而方便地执行常见I-V测试的工具。
软件接口：TSP EXPRESS（内嵌的）、DIRECT GPIB/VISA、支持VB的读/写、VC/C++、 VC#、LABVIEW、TESTPOINT、LABWINDOWS/CVI等。
系统扩展
支持TSP功能的仪器通过TSP-Link扩展接口可以相互触发和通信。如下图所示：
2657A能够提供或吸收高达3000V@20mA或1500V@120mA的电源
一般性指标
USB：USB 2.1主控制器，支持外部数据存储。
接触检查：± 50Ω
PC接口：IEEE-488.1和.2；LXI CLASS C以太网；RS-232。
数字I/O接口：输入/输出脚：14个漏极开路I/O位。最大5.25V。
电源：100V到250V交流，50HZ–60HZ（自动检测），最大功率550VA。
冷却：强迫风冷。侧面和顶部吸气，后部排气。
EMC：符合欧盟EMC指令。
安全性：ETL列出（待确认）。符合欧盟低压指令。
质保期：1年。
尺寸：高89mm × 宽435mm × 深549mm（3.5in × 17.1in × 21.6in）。测试台配置（带手柄和腿）：高104mm × 宽483mm × 深620mm（4.1in × 19in × 24.4in）。
重量：9.98KG（22lbs）。
使用环境：仅适合室内使用。
校准周期：一年。
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